臭氧消毒機作為空氣除味與殺菌，要求臭氧濃度較低，如0.5ppm（1mg/m3）這時不會對人體造成影響，而對物品表面消毒（殺滅微生物和去除化學(xué)污染）則要求提高幾十倍的臭氧濃度。
在使用臭氧消毒機時溫度低，濕度大則殺滅效果好，尤其是濕度，相對濕度小于45%，臭氧對空氣中懸浮微生物幾乎沒有殺滅作用。在60%時才逐漸增強，在95%時達(dá)到最大值。
使用臭氧消毒機食品加工車間的濃度為，0.5～1.0ppm即可殺滅空氣中的80%的自然菌。
對冷庫臭氧消毒時,要求臭氧濃度6～10ppm，停機后封庫24小時以上細(xì)菌殺滅率90%左右，霉菌殺滅率80%左右。
在水果貯藏期間，可用2～3ppm的臭氧濃度可使霉菌的生長受到抑制，貯藏期可延長一倍